Kronos垂直梯度凝固法系統,用以解決基本工藝問題。該系統的高工作壓力意味著,即使其組分具有高蒸氣壓的材料也可以結晶。該系統可在10-40巴的壓力范圍內用于不同化合物半導體的結晶。這種方法支持晶體的工業化生產,例如砷化鎵(GaAs)的工業化生產可以通過在最大10巴壓力的標準版設備實現,而磷化銦(InP)的生產可以在最大40巴壓力的標準版設備中實現。
SiCma系統專為通過物理氣相傳輸系統(PVT)的方式生產碳化硅晶體而開發。在此過程中,粉末狀的原材料在高溫下被加熱和升華,最后沉積在特定準備的基片上。這項工藝將通過使用一個感應線圈在千赫茲范圍內完成加熱。隨著全球工業領域環保意識的提高,PVA TePla也緊跟時代步伐,通過對該感應線圈進行優化設計以實現低能源消耗。
SR110區熔法硅芯爐的工作方式與區熔系統類似。該系統使用一個在高頻感應線圈下直徑為100毫米的多晶硅棒(源棒)。根據硅棒的長度,在多個拉動工藝中可以產生特定數量的硅芯;然后這些硅芯被用作西門子下游工藝中的原棒。通過隔離閥將接收爐體與工藝爐體分開,可以將完成的硅芯取出,并立即開始下一個工藝。通過引入擴散到熔體中的工藝氣體可以對細桿進行摻雜處理。
FZ-30和FZ-35區熔晶體生長系統專為工業生產直徑達200毫米(8英寸)的單晶硅晶體而設計。根據源棒的尺寸,可以拉出長度為2000毫米的晶體。在這個過程中,晶體的直徑和液態區的高度可以用攝像系統來監測。該系統采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產生高極限真空環境,有效地防止了工藝過程中的污染。
單腔立式甩干機適用于晶圓直徑至200mm;25片晶圓單盒工藝;標準的高邊和低邊花籃;可選內置電阻率檢測傳感器來控制晶圓的清洗工藝;用冷或熱的N2輔助晶圓干燥;離心頭容易更換。 去靜電裝置安裝于工藝腔室區:去離子水回收;去阻率檢測裝置;機械手自動加載;可放置臺面操作的設備、單立、雙腔;去離子水加熱系統;底座置放不銹鋼滾輪;溶劑滅火裝置;適用特殊設計的花籃。
FZ-14M(G)區熔晶體生長系統為制備單晶硅晶體樣品而設計開發,該系統用于工業多晶硅生產中的材料分析。生產過程中的小型多晶體樣品在氬氣環境中被感應熔化,并在籽晶上結晶,形成單晶,然后進行光譜分析,以檢測和記錄所生產的多晶硅質量。該系統采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產生高極限真空環境,有效地防止了工藝過程中的污染。