物理氣相傳輸系統

1. 產品概述：

SICma System 是 PVA TePla 公司專為通過物理氣相傳輸（PVT）方式生產碳化硅晶體而設計的系統 12。在 PVT 過程中，粉末狀的原材料在高溫下被加熱和升華，最終沉積在特定準備的基片上。該系統采用感應線圈在千赫茲范圍內進行加熱，在全球范圍內擁有十多年的應用經驗。

2. 設備應用：

· 半導體行業：用于生產碳化硅晶體，碳化硅具有更大的禁帶帶隙、更高的擊穿場強和更高的熱導率，是制造高達千伏范圍的電子器件的理想材料，可應用于功率半導體器件如二極管、晶體管等的制造。

· 研發領域：為科研機構提供了一個可靠的平臺，用于開展關于碳化硅晶體生長、材料特性研究等方面的實驗和探索，有助于推動碳化硅相關技術的不斷進步和創新。

3. 設備特點：

· 高度自動化：能夠實現高度自動化的生產過程，減少了人工干預，提高了生產效率和產品質量的穩定性，降低了人為誤差對晶體生長的影響 。

· 緊湊設計：具有緊湊的產品設計，為泵和電源等提供了高度靈活性的選擇，有助于節省空間，同時也方便在不同的生產環境中進行安裝和布局。

· 工藝高復制性：通過豐富的配件選擇和高度自動化，實現了工藝的高復制性，使得在不同批次的生產中能夠保持較為一致的晶體生長條件和產品質量。

· 接口靈活：提高了應用靈活性，為客戶提供特定過程控制系統接口，如半導體行業中常見的制造執行系統（MES），便于與其他生產設備和管理系統進行集成和協同工作。

· 實時技術支持：客戶可以隨時聯系 PVA TePla 公司的專家，及時對工藝制作過程中可能發生的意外或變化進行修正、調整和系統優化，確保生產過程的順利進行和問題的及時解決。

· 可定制化：支持根據客戶需求進行定制，包括籽晶片尺寸的選擇等，滿足不同客戶的特定要求，為客戶提供了更多的選擇和可能性。

4. 產品參數：

最大晶體直徑： 6"

4英寸石英管的內徑加工室： 286 mm

4英寸石英管的內徑加工室： 378 mm

頻率： 6 - 10 kHz