英思特長期致力于半導體等行業干濕制程設備、自動供/排液系統、甩干機等設備的設計、生產、銷售及設備的優化。期待與您的合作!
批量晶圓處理等離子系統采用模塊化設計,其模塊化控制系統使用最新一代處理器,基于 Linux 平臺作為操作系統,以及圖形用戶界面 (GUI)。因此,可支持手動和全自動控制過程,并且通過 MFC 控制過程氣體。在此過程中,所有參數都被寫入程序并存儲在數據庫中。與此同時,當前的壓力值、氣體流量值、輸出值等都顯示在顯示屏上,如果當前值偏離設定值,則會觸發相應的警報。
去膠設備NA-1300系列 從關鍵的新世代晶圓制程到晶圓封裝,Luminous NA系列可對應廣范圍的各類晶圓尺寸的各類工藝需求。