批量晶圓處理等離子系統

1. GIGAbatch 310M等離子系統：

GIGAbatch 310M等離子系統 是 GIGAbatch 產品系列中的入門型號。作為小的系統，GIGAbatch 310M具有較高的性價比，憑借先進的等離子技術以及經濟實惠等優點，它是實驗室和大學的理想之選。然而，即使是基礎版本，它也可用于使用 MFC 氣體管道和 600 W 發生器，執行手動和自動等離子處理?；A版本的桌面型；為第二個氣體管道提供空間。腔室多可容納 25 片直徑為 150 毫米的晶圓，可以使用石英舟批量處理，或使用帶有特殊裝載裝置進行單片處理。各種個性化配置的配件：具有特殊密封材料的配置，帶冷卻板和循環冷卻器的腔室可用于從晶圓上去除 SU-8。

2. GIGAbatch 360/380M等離子系統：

GIGAbatch 360M 和 380M等離子系統，是為滿足低要求的小批量生產而設計。 GIGAbatch 360M版本有一個直徑為 245 mm的工藝室，多可容納 50 片直徑為 150 mm的晶圓。而GIGAbatch 380M版本的腔室內徑為 300 mm，多可容納 25 片直徑為 200 mm 的晶圓。該系統的基礎版本是一款落地式設備，帶有噴涂面板、可調節支腳和腳輪。它配有一個輸出功率為 1000 W 的發生器、兩個 MFC 氣體管道、晶圓溫度監控和一個終點偵測系統。此外，它還包括一個固定晶圓和基板的裝置，可安裝在腔體室內門上，并可根據客戶具體要求進行設計。也可按客戶需求提供：過程壓力 (DSC) 的主動控制裝置、法拉第籠、額外的氣體管道、不同尺寸基板或晶圓的裝載裝置、陶瓷工藝室、使用含氟工藝氣體運行的特殊密封件。