區熔晶體生長系統

FZ-14M(G) 區熔晶體生長系統可在線圈下放置顆粒硅料，使用籽晶將熔融的顆粒硅拉出用于材料分析的小單晶棒， 在拉制過程中顆粒硅容器和籽晶旋轉方向相反。此外，上主軸可以在X或Y方向移動。

產品數據概覽：

材料：硅

晶體

晶體拉動長度 350 mm

晶體直徑： 最長可達 25 mm

最后真空度： 2.5 x 10-5 mbar

最大過壓： 2 bar(g)

發電機

輸出電壓： 15 kW

頻率： 2.4 MHz (FZ-14M)

上軸

進料速度： 最高 30 mm/min

上部旋轉： 最高 30 rpm

下軸

拉動速度： 最高 30 mm/min

下部旋轉： 最高 30 rpm

尺寸規格

高度： 3,000 mm

寬度： 1,020 mm

深度 1,640 mm

面積（總）: 1,800 mm x 4,000 mm

重量（總）： 約2,500 kg

區熔（FZ）技術作為提純方法為生產高電阻率的超純硅單晶提供了技術可行性，該技術可應用于高性能電子和半導體技術領域。其另一優點是可以從氣相中連續摻入，這使得在整個晶體的電阻率沿長度方向保持一致。因此，幾乎可以在整個晶體上均勻地實現所需的電性能。由于電荷載流子的高壽命和極低的氧含量（無坩堝工藝），FZ晶體同樣也適用于光伏行業。

區熔（FZ）技術作為提純方法與CZ直拉工藝等競爭方法相比，FZ工藝的優勢在于只有緊鄰感應線圈的一小部分晶體需要被熔化，無需使用石英坩堝（每爐次耗用一個），可實現高拉速，因此降低了耗材成本的同時也降低了能源成本。此外，無論是從硅還是其他合適的材料中提取的晶體，可以通過多次處理，顯著地提高純度。