單腔立式甩干機

1. 產品概述：

單腔立式甩干機是一種用于實現物料高效脫水的設備。其通過特定的機械結構和工作原理，能快速將物料中的水分分離出去，達到甩干的目的。

2. 設備應用：

o 半導體行業：在半導體制造過程中，可用于晶圓等半導體材料的清洗后脫水，確保晶圓表面干燥，避免水分殘留對后續工藝產生影響，例如在光刻、鍍膜等工序前，保證晶圓的潔凈度和干燥度，有助于提高半導體產品的質量和性能 1。

o 電子元件制造：對電子元件進行清洗后的脫水處理，能有效去除元件表面的水分，防止水分對元件的性能和可靠性造成損害，如在印刷電路板（PCB）制造中，可使清洗后的 PCB 快速干燥，為后續的焊接、組裝等工序提供良好條件。

3. 設備特點：

優點：清洗系統應用于各種清洗和干燥工藝。不同配置（可放置臺面操作的設備、單腔單立、雙腔）；適用于晶圓尺寸200mm；佳的占地，設備帶有滾輪可移動；可靠性；模塊化結構；其便于維修；易于使用和操作。

一般特征：適用于晶圓直徑至200mm；25片晶圓單盒工藝；標準的高邊和低邊花籃；可選內置電阻率檢測傳感器來控制晶圓的清洗工藝；用冷或熱的N2輔助晶圓干燥；離心頭容易更換。

去靜電裝置安裝于工藝腔室區：去離子水回收；去阻率檢測裝置；機械手自動加載；可放置臺面操作的設備、單腔單立、雙腔；去離子水加熱系統；底座置放不銹鋼滾輪；溶劑滅火裝置；適用特殊設計的花籃。