立式/臥式管舟清洗設備

1. 產品概述

立式/臥式管舟清洗機，如Bpure Series系列，采用先進的清洗工藝，能夠高效、清洗各種石英管、舟、碳化硅管及其它石英材質的零部件，如石英板、點火炮、保溫桶等。這些設備不僅適用于12英寸及以下尺寸的擴散、外延等設備的清洗，還具備廣泛的兼容性，能夠滿足不同工藝和材料的清洗需求。

2. 設備用途/原理

立式/臥式管舟清洗設備廣泛應用于集成電路、功率半導體、化合物半導體等高科技領域，以及科研機構的實驗室中。它們在這些領域中發揮著重要作用，確保了半導體器件和設備的生產質量和可靠性。

3. 設備特點

全自動清洗：設備采用全自動控制系統，操作簡便，能夠大幅度提高清洗效率，降低人工成本。

多種清洗工藝可選：設備提供浸泡式清洗與噴淋式清洗兩種工藝可選，用戶可根據實際需求選擇合適的清洗方式。

一機多用：設備設計靈活，可兼容多種石英管、舟及工件的清洗，滿足不同場合和工藝的需求。

自主研發控制系統：配備自主研發的控制系統，具有友好的人機交互界面，方便用戶操作和維護。

自動配液系統：設備配備自動配液系統，換酸便捷，能夠減少化學試劑的浪費，并降低操作風險。

分級安全互鎖設置：設備設有分級安全互鎖裝置，確保設備在運行過程中的安全性和可靠性。