Veeco 的 GEN20™ MBE 系統是一種超靈活的工具,其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置,包括需要集成電子束技術的應用。該系統采用生產設計技術,允許可選的集群工具晶圓傳輸系統,以實現理想的實驗室到晶圓廠遷移。
屢獲殊榮的新型 GENxcel™ 系統是在 GENxplor 的基礎上進行的擴展,GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來暢銷的 MBE 系統,與 GENxplor 系統的 3“ 功能相比,在單個 4 英寸襯底上具有高質量的外延生長。GENxcel 系統具有易于使用的手動傳輸系統、12 個源端口集成到單框架設計中的現代電子設備,可實現最大的實驗室占地面積效率。
GEN10™ MBE 系統是成熟平臺中經濟、最靈活的簇狀工具系統,允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統利用率高,允許多個研究人員同時使用該系統,并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 Veeco 組件技術相結合,是 MBE 社區選擇 GEN10™ MBE 系統的關鍵因素,無論應用是什么。
GENxplor® R&D MBE系統獲得了化合物半導體制造的CSindustry獎,采用Veeco成熟的3英寸生長室設計,并具工藝靈活性,非常適合UV LED、高效太陽能電池和高溫超導體等新興技術的材料研究。其高效的單框架設計將所有真空硬件與機載電子設備相結合,使其比其他 MBE 系統小 40%,從而節省寶貴的實驗室空間。
Laurell的WS-1000MH系列微型濕法勻膠工作臺適用于更狹小的空間和較小的預算。這個簡單的工作站被提煉出真正的濕式工作站必須具備的精髓,以實現最大的經濟性。
Laurell的WS-1000系列濕法勻膠工作臺的配置和測試模塊建造和運輸安裝時間短。易于裝載和操作,所有物品都讓操作員方便地觸及。