分子束外延MBE

1. 產品概述：

GEN10™ MBE 系統是成熟平臺中經濟、靈活的簇狀工具系統，允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統利用率高，允許多個研究人員同時使用該系統，并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 Veeco 組件技術相結合，是 MBE 社區選擇 GEN10™ MBE 系統的關鍵因素，無論應用是什么。

自動晶圓轉移可實現高系統利用率，允許多名研究人員同時使用該系統，并在無人值守的情況下進行生長和校準

經濟地升到其他增長模塊的路徑，多三個

集群架構中可配置的、特定于材料的生長模塊可在一個真空系統中生長不相容的材料

直接通往更大規模生產 MBE 系統的工藝路徑 

GEN10™ MBE 系統是成熟平臺中經濟、靈活的簇狀工具系統，允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統利用率高，允許多個研究人員同時使用該系統，并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 Veeco 組件技術相結合，是 MBE 社區選擇 GEN10™ MBE 系統的關鍵因素，無論應用是什么。