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            分子束外延MBE

            簡要描述:Veeco 的 GEN20™ MBE 系統是一種超靈活的工具,其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置,包括需要集成電子束技術的應用。該系統采用生產設計技術,允許可選的集群工具晶圓傳輸系統,以實現理想的實驗室到晶圓廠遷移。

            • 產品型號:GEN20
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-09-05
            • 訪  問  量: 347

            詳細介紹

            1. 產品概述:

            Veeco 的 GEN20™ MBE 系統是一種超靈活的工具,其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置,包括需要集成電子束技術的應用。該系統采用生產設計技術,允許可選的集群工具晶圓傳輸系統,以實現理想的實驗室到晶圓廠遷移。 

            材料研究和預生產環境的理想選擇

            垂直源到基板方向,具有 12 個 MBE 源端口和添加電子束功能的選項

            手動或自動晶圓轉移選項可配置的低溫板、機械手、百葉窗和原位監測設備

            模塊化設計允許多兩個增長模塊

            Veeco 的 GEN20™ MBE 系統是一種超靈活的工具,其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置,包括需要集成電子束技術的應用。該系統采用生產設計技術,允許可選的集群工具晶圓傳輸系統,以實現理想的實驗室到晶圓廠遷移。

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