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            分子束外延MBE

            簡要描述:Veeco 的 GEN200® MBE 系統是當今市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產 MBE 系統。該系統在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。

            • 產品型號:GEN200
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-09-05
            • 訪  問  量: 331

            詳細介紹

            1. 產品概述

            Veeco 的 GEN200® MBE 系統是當市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產 MBE 系統。該系統在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。 

            提供成本低的 4 x 4“ 外延片生長

            與同類 MBE 系統相比,模塊化架構的占用空間要小得多

            允許多兩個生長模塊,從而提高產量或允許處理不相容的材料

            可選的隔板安裝優化了潔凈室空間

            集成了業界具創新性、可靠的系統硬件、源和組件

            Veeco 的 GEN200® MBE 系統是當市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產 MBE 系統。該系統在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。 


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