Kurt J. Lesker Company PVD-BATCH DRUM系列由兩種標準尺寸（PVD 200 和 PVD 500）組成，可配置為水平或垂直配置。當顆粒物是一個主要問題時，水平配置優先。水平和垂直配置均可用于 3D 涂層的雙軸旋轉。通過每次運行的沉積面積來衡量的吞吐量范圍從幾百平方英寸到超過 2000 平方英寸，并且還提供更大的定制系統。

Kurt J. Lesker Company （KJLC） ALD150LE™是我們但極其靈活的原子層沉積 （ALD） 系統，專為入門級到中級用戶而設計。該ALD150LE™配置為純熱原子層沉積，工藝室設計促進了均勻的母離子分散和輸送。加熱和溫度控制進一步增強了系統性能?？傮w而言，該ALD150LE™在緊湊的設計中提供了的靈活性和性能，而不會犧牲可維護性。

Kurt J. Lesker Company （KJLC） ALD150LX™是一種原子層沉積ALD 系統，專為高級研發 （R&D） 應用而設計。創新的ALD150LX設計功能，如我們的前驅體聚焦技術™，以及我們超高純度 （UHP） 工藝能力等進步技術，提供了靈活性和性能。

概述 針對有機材料沉積進行了優化 多達 12 個 LTE 信號源;1cc、10cc或35cc容量 主體與摻雜劑比 1000：1 多達 4 個熱蒸發源 基板快門 自動基板、掩膜存儲和更換 高溫計端口 手套箱接口設計，帶滑動前門和滑動后門 KJLC eKLipse™ 控制軟件 速率控制分辨率 0.05Å/s 基于配方的基于 PC 的系統控制 低溫泵高真空泵 2位閘閥

Kurt J. Lesker Company 的有機薄膜沉積和金屬化系統和金屬 SPECTROS™ 150 是基于主力 SPECTROS 平臺的下一代薄膜沉積系統。SPECTROS平臺是一種成熟、堅固和多功能的設計。SPECTROS建立在原始設計的成功基礎上，改進了系統基礎壓力和抽空時間。腔室設計、具有高級編程功能的行業最佳軟件控制系統、實時配方線程操作以及用于優化薄膜性能的眾多功能。

Kurt J. Lesker Company Mini SPECTROS™是基于主力SPECTROS平臺的下一代薄膜沉積系統。SPECTROS平臺在全球擁有100多臺設備，是一種成熟、堅固和多功能的設計。Mini SPECTROS建立在原始設計的成功基礎上，改進了系統基礎壓力和抽空時間。技術的腔室設計、具有高級編程功能的行業最佳軟件控制系統、實時配方線程操作以及用于優化薄膜性能的眾多功能，這些