Beneq Transform在其多功能性和適應性方面建立了全新的ALD集群工具產品，以滿足廣泛的應用和細分市場的需求。Beneq Transform 配置多個 ALD 工藝模塊，以滿足特定的晶圓容量要求，或者在以后進行升級，以響應不斷增長的數量或新的 ALD 應用

Beneq Prodigy™ 是 VCSEL、LED 和 MEMS 制造商和代工廠的理想制造解決方案，他們希望通過經濟實惠的獨立 ALD 批處理工具提高設備性能和可靠性。Beneq Prodigy 為多種晶圓類型和尺寸提供同類最佳的鈍化和/或封裝膜。

Beneq Transform 300 是一個高度通用的制造平臺，面向致力于 CIS、電源、Micro-OLED/LED、先進封裝和其他 MtM 應用的 IDM 和代工廠。它是一種高度可配置的解決方案，適用于多種高級薄膜應用，從柵極電介質到鈍化和/或封裝等。

碳化硅沉積系統G10-碳化硅150 mm 和 200 mm – 支持雙晶圓尺寸 – 為您的未來投資提供保障市場上最高的晶圓產量 / m2市場上晶圓出色的運行過程性能高度均勻、低缺陷的 SiC 外延工藝，可實現最大的芯片良率

化合物半導體沉積系統“行星式反應器模塊，用于在150/200毫米襯底（Si/藍寶石/SiC）上應用氮化鎵，可提高生產率和晶圓性能”

化合物半導體沉積系統AIX G5 WW C“下一代碳化硅電力電子器件的最佳性能，以應對全球大趨勢”高吞吐量批量外延與單晶圓控制 - 兩全其美。