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詳細介紹
1.產品概述：
Beneq Prodigy™ 是 VCSEL、LED 和 MEMS 制造商和代工廠的理想制造解決方案，他們希望通過經濟實惠的獨立 ALD 批處理工具提高設備性能和可靠性。Beneq Prodigy 為多種晶圓類型和尺寸提供同類佳的鈍化和/或封裝膜。
2.產品優勢：
價值：以更低的價格提供技術。 Prodigy在經濟性、容量和可靠性方面為化合物半導體和MEMS制造市場提供了的突破。
單純：有更多時間思考解決方案。 Prodigy 通過水平晶圓處理的自動裝載以及直接的維護和可維護性以及輕松的側面檢修，提供了純粹的簡單性。
創新：定義新標準。 該工具為采用ALD的化合物半導體和MEMS器件的經濟實惠的大批量制造設定了全新的標準。我們使用 Beneq 超過 15 年積累的簡單自動化和可靠的反應器設計，為應用域提供經過驗證的結果。
晶圓廠就緒：Beneq Prodigy 與 SECS/GEM 通信功能兼容，并符合高的 SEMI S2 標準。
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