原子層沉積

1.產品概述：

Beneq Transform在其多功能性和適應性方面建立了全新的ALD集群工具產品，以滿足廣泛的應用和細分市場的需求。Beneq Transform 配置多個 ALD 工藝模塊，以滿足特定的晶圓容量要求，或者在以后進行升，以響應不斷增長的數量或新的 ALD 應用。

2.產品優勢：

一個平臺，多種配置：Beneq Transform在其多功能性和適應性方面建立了全新的ALD集群工具產品，以滿足廣泛的應用和細分市場的需求。Beneq Transform 配置多個 ALD 工藝模塊，以滿足特定的晶圓容量要求，或者在以后進行升，以響應不斷增長的數量或新的 ALD 應用。

熱原子層沉積和等離子體原子層沉積合二為一。

單晶圓或批量處理：泛的高性能氧化物和氮化物。大限度地增加靈活的批量生產選擇。憑借其靈活的自動化平臺和將熱批量和等離子體增強的原子層沉積工藝模塊結合在一個集成系統中的功能，Beneq Transform 在如何實現處理序列以滿足的薄膜沉積要求方面提供了靈活性。

為晶圓廠設計：行業標準的水平晶圓裝載提供即插即用的集成。預熱模塊消除了等待時間，并將吞吐量提升到一個全新的水平。

SEMI認證：符合 SEMI S2/S8 和 SECS/GEM 標準。定制支持可確保在生產中順利過渡到原子層沉積。