MS6-CA手動光刻機是一款高性能的精密加工設備,專為微電子、半導體、光電等領域的研發與生產設計。
HP100-HT-CTM高溫型烤膠機,不銹鋼鍍陶瓷加熱,觸屏控溫,獨立電路,隔熱設計,安全耐用,高溫均勻,適合精密實驗。
VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻機為光掩模(0.8至1.4 m)的高通量圖案化而定制。VPG1400是我們專為顯示行業設計的最大的系統。它是平板顯示器 (FPD) 應用的好的選擇,例如 TFT 陣列、彩色濾光片和 ITO。這些工具還用于先進封裝、半導體、LED 和觸摸屏應用的工業大面積光掩模應用。
SENTECH Etchlab 200 RIE等離子蝕刻系統代表了一系列直接加載等離子體蝕刻系統,結合了RIE平行板電極設計的優點和直接負載的成本效益設計。
HP6精密型烤膠機,全鋁機身,高精度控溫,獨立電路,真空吸附,數顯溫控,可選線性控溫,小巧便攜,適合手套箱使用。
SENTECH SI 500 C 低溫 ICP-RIE 等離子體蝕刻系統代表了電感耦合等離子體 (ICP) 處理的前沿技術,其最寬溫度范圍為 -150 °C 至 150 °C。 該工具包括 ICP 等離子體源 PTSA、一個動態溫控基板電極、一個受控的真空系統和一個非常易于操作的用戶界面。靈活性和模塊化是設計特點。該系統可以配置為處理各種精細結Si, SiO2, Si3N4, GaAs和InP