雙軸半自動劃片機是一款先進的半導體切割設備,廣泛應用于半導體制造和封裝領域。該設備結合了高精度、高效率和穩定性等特點,能夠滿足現代半導體工業對切割精度的嚴格要求。
7234劃片機是一款高精度的半導體切割設備,主要用于晶圓或其他材料的切割加工。它配備了4英寸的空氣軸承主軸,采用直流無刷電機驅動,轉速高達30krpm,能夠兼容4-5英寸的刀片。該設備能夠覆蓋最大直徑為300毫米或253mmX243mm的方形產品,具有高效、精確的切割能力
等離子體沉積ALD AD-230LP是一種原子層沉積(ALD)系統,能夠在原子水平上控制薄膜厚度。有機金屬原料和氧化劑交替供給反應室,僅通過表面反應進行薄膜沉積。該系統具有負載鎖定室,且不向大氣開放反應室,因此能夠實現薄膜沉積的優良再現性。
由德國UNITEMP研發的等離子清洗和加熱機,最大零件裝載面積:305 mm x 305 mm(最大零件高度為 25 mm)。
6110是一款高精度、高性能單軸半自動劃片機,機身寬度490mm,占地面積小,結合全新設計的操作系統,提供高效、低使用成本的切割體驗。
SENTECH AL 實時監測器是一種經過驗證的光學診斷工具,可實現單個 ALD 和 ALE 周期的超高分辨率。主要應用是在不破壞真空的情況下分析薄膜特性(生長速率、厚度、折射率以及蝕刻速率),在短時間內開發新工藝,以及實時研究 ALD 和 ALE 周期期間的反應機理。