PFS系列是SiC工藝等高溫處理工藝中，配合使用的退火設備?？勺畲髮?150mm。

THEORIS A302L 12英寸立式低溫退火爐，優良的壓力控制系統,高精度溫度場控制技術。

FLOURIS 201系列 8英寸立式爐，高精度溫度場控制技術，可實現 1200℃ 內氧化退火工藝。

CIF透射電鏡樣品桿存儲儀采用無油隔膜泵，通過抽真空產生100 Pa恒定潔凈無污染的真空環境，特別適用于TEM透射電鏡樣品桿的日常真空儲存或水汽去除，簡單方便實用。

中央供藥系統簡介： 1.用于廠內供藥，通過該系統可以按照設定的配比，將特定的藥液通過相應的管路供應到制程中。 2.該系統供藥配比精確，配方可根據客戶需要進行編輯確認，容量大小根據客戶需求進行定制。

動態功率器件分析儀/雙脈沖測試儀 性能介紹： 1.作為現成的測量解決方案，PD1500A 可以對寬帶隙半導體進行可靠且可重復的測量。 該平臺不僅可以確保用戶的安全性，還能夠保護系統的測量硬件。 2.能夠可靠、可重復測量寬帶隙（SiC、GaN）功率半導體的動態特征 3.測量的特征包括開啟、關閉、開關切換、反向恢復、柵極電荷以及其他許多特征