中央供藥系統

1. 產品概述：

智程中央供藥系統是用于廠內供藥的設備，能夠按照設定的配比，將特定的藥液通過相應的管路供應到制程中。它可以精確地控制藥液的輸送和配比，確保生產過程中使用的藥液符合工藝要求。

2. 設備應用：

· 半導體制造：在半導體晶圓制造過程中，為各種清洗、蝕刻、沉積等工藝提供精確配比的化學藥液，如酸性（H?SO?、HCl、HNO?、H?PO?、HF、BOE 等）、堿性（NH?OH、NaOH、KOH 等）、有機（IPA、ACE、去膠、去蠟等）以及拋光液（金剛石拋光液、化學拋光液等。

· LED 光電行業：為 LED 芯片的制作過程提供所需的化學藥液供應，助力提升 LED 產品的質量和性能。

· 電子行業：在電路板制造等電子制造環節中，提供精確的化學藥液供應，保障生產工藝的順利進行。

3. 設備特點：

· 供藥配比精確：能夠嚴格按照設定的比例進行藥液調配，確保藥液濃度的準確性，從而保證生產工藝的穩定性和產品質量。

· 配方可編輯：配方可以根據客戶的具體需求進行編輯和確認，具有較高的靈活性，能滿足不同生產工藝對藥液配方的多樣化要求。

· 容量定制化：容量大小可根據客戶的實際需求進行定制，適應不同規模的生產場景，避免資源浪費或供應不足的情況。

· 自動化程度高：實現了自動供藥過程，減少了人工操作帶來的誤差和不確定性，提高了生產效率和供藥的及時性。

· 系統穩定性強：經過精心設計和優化，具備良好的穩定性和可靠性，能夠在長時間的生產過程中穩定運行，降低設備故障對生產的影響。

4. 產品參數：

· 供藥種類：涵蓋各種適用藥液，如不同類型的酸、堿、有機溶液和拋光液等。

· 配比精度：例如可精確到小數點后幾位的配比精度。

· 最大供藥流量：反映系統在單位時間內能夠供應的藥液最大量。

· 儲液罐容量：根據定制需求，儲液罐的容量有不同規格。

· 控制方式：如采用優良的自動化控制系統，具備精確的參數設置和監控功能。

· 管路材質：使用適合輸送化學藥液的特殊材質管路，確保藥液的穩定性和安全性，同時具備良好的耐腐蝕性。

· 實際參數可能會因設備的具體配置和定制需求而有所不同。