金屬有機化學氣相沉積

1.產品概述：

Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系統被設計為一種大批量制造單晶圓反應器簇系統，適用于基于GaN的功率、射頻和光子器件。采用單晶圓反應器平臺，能夠在150和200毫米晶圓上產生高質量外延膜性能，以實現均勻性、可重復性和良率。PropelHVM系統可配置多達6個模塊化集群室，以實現最大的生產力和靈活性，是客戶、鑄造廠或IDM業務的理想選擇。

2.產品優勢：

單晶圓反應器基于VeecoTurboDisc®設計，采用突破性技術，包括IsoFlange™和SymmHeat™，可在整個晶圓上提供層流和均勻的溫度分布。客戶可以輕松地將工藝從Veeco的單晶圓反應器Propel和K465i™系統轉移到PropelHVMGaNMOCVD平臺，以實現快速開發到生產周期.

Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系統被設計為一種大批量制造單晶圓反應器簇系統，適用于基于GaN的功率、射頻和光子器件。采用單晶圓反應器平臺，能夠在150和200毫米晶圓上產生高質量外延膜性能，以實現均勻性、可重復性和良率。PropelHVM系統可配置多達6個模塊化集群室，以實現大的生產力和靈活性，是客戶、鑄造廠或IDM業務的理想選擇。

單晶圓反應器基于VeecoTurboDisc®設計，采用突破性技術，包括IsoFlange™和SymmHeat™，可在整個晶圓上提供層流和均勻的溫度分布。客戶可以輕松地將工藝從Veeco的單晶圓反應器Propel和K465i™系統轉移到PropelHVMGaNMOCVD平臺，以實現快速開發到生產周期。