掩膜自動處理系統

1.產品概述：

掩模的完整性對高標準光刻工藝的成功起主要作用。MaskTrack Pro 掩膜自動處理系統滿足下一代光刻節點在掩模清洗、烘烤和顯影工藝方面的所有標準，它是應對 193i 1x half-pitch DPT、紫外光刻 (EUVL) 和納米壓印光刻 (NIL)高要求的創新解決方案。以創新技術大限度地提高光掩模性能。

2.配置：

MaskTrack Pro 烘烤和顯影系統是 SUSS MicroTecs 下一代光刻技術掩模產品線的一部分。為亞32 nm 技術節點而設計，平臺能夠在制造掩模時完成高度復雜的工藝步驟。

Mask Track Pro 提供一個特殊的無硫自動光掩模清洗配置選項。背面清潔系統提供工廠使用的光掩模特殊清潔解決方案，其中不僅定期清除背面污垢，還必須除去正面的潮濕斑點。此系統還適用于清潔小批量的光掩模坯件以及用于研究。

MaskTrack Pro 提供的物理和化學清洗法組合。能夠有效地清除顆粒和有機及無機污物。此外，智能清洗過程和各種表面處理方法確保技術節點掩模的完整性低于 1x nm Half-Pitch。MaskTrack Pro 向后兼容至 90 nm Half-Pitch。創新的平臺方案提供一個群集解決方案連同 MaskTrack Pro InSync 系統、掩模背面粒子探測以及 EUV 內光罩庫。因此，平臺保證了掩模全面管理方法，這對 EUVL 基礎設施十分重要。

3.產品優勢：

MaskTrack Pro 允許用第三方的產品擴展工具集群，并提供一個全面的方法。

縮短貨期時間

延長掩模的壽命

提高掃描儀的運行時間

降低運行成本