涂膠與顯影機

一個工具適用于所有先進的包裝應用

通過在一個系統中提供多種工藝技術，如光阻劑、聚酰亞胺和PBO涂層，ACS300 Gen3提供了高效率。它還為每個模塊提供了多達五種抗蝕劑或四種顯影劑的能力，以實現最佳的工藝靈活性。此外，通用的熱板設計消除了對不同抗蝕劑或PI類型的特定熱板的需要。ACS300 Gen3允許同時處理200和300毫米的晶圓，而不需要進行機械轉換。

一致的過程監控導致高產量

ACS300 Gen3可以實現高效的模塊堆疊，從而節省了潔凈室中昂貴的空間。多達12個模塊可以方便地在三層模塊系統中相互排列，而該工具的多種節省化學品的功能實現了進一步的節約。無論是SUSS MicroTec公司專有的GYRSET技術、新穎的分配技術還是化學品再循環系統，該工具都能經濟地使用化學品，并符合的可持續發展標準。

在吞吐量方面表現出色

當使用可選的第二個機器人系統時，ACS300 Gen3在三步流程中達到了高達240 wph的吞吐率。一個先進的過程控制系統優化了處理時間：調度算法可以有選擇地交換，以確保瓶頸步驟的時間段得到充分的利用。此外，諸如在高溫下的顯影劑和流動模式的特點也減少了加工時間。

一致的過程監控導致高產量

使ACS300 Gen3脫穎而出的是其高度的過程控制。它可以連續記錄所有相關參數的過程數據，如溫度、流量、壓力、體積、清洗率等。數據記錄允許精確調整過程參數、可重復的結果和快速識別潛在的薄弱點。過程變得更加穩定和可重復，產量也可以顯著提高。

亮點

占地面積小，高效的化學品處理，靈活的工藝，配置高，吞吐量的能力，穩定的工藝結果