TCO激光劃線設備

1 產品概述:

      TCO激光劃線設備是一種專門用于在玻璃基板上成膜的透明導電氧化物（TCO）膜上進行劃線處理的激光設備。它采用近紅外脈沖激光燒蝕法，通過精確控制激光束的能量和位置，在TCO膜上形成所需的劃線圖案。該設備由多個關鍵部件組成，包括IR激光器陣列、光學系統、Bridge式XY平臺、基板搬送機構、集塵機、激光測定機構和控制系統等，共同實現高精度、高穩定性的劃線作業。

2 設備用途：

TCO激光劃線設備的主要用途包括但不限于以下幾個方面：

1. 薄膜太陽能電池制造：在薄膜太陽能電池的生產過程中，TCO層作為透明導電層，其上的劃線處理對于電池的性能和效率具有重要影響。TCO激光劃線設備能夠精確地在TCO層上劃線，形成電池單元之間的隔離，提高電池的轉換效率和穩定性。

2. 鈣鈦礦電池制造：在鈣鈦礦電池的制造過程中，TCO層同樣扮演著重要角色。TCO激光劃線設備可用于在TCO層上進行劃線，以形成串聯結構的子電池單元，并為后續工藝步驟（如電極蒸鍍）提供必要的通道和分隔。

3. 其他透明導電膜層處理：除了TCO膜外，TCO激光劃線設備還可用于處理其他類型的透明導電膜層，如ITO（銦錫氧化物）等，在電子器件、光電器件等領域具有廣泛的應用前景。

3 設備特點

TCO激光劃線設備具有以下幾個顯著特點：

1. 高精度：采用光纖激光和花崗巖平臺等高精度部件，確保劃線作業的精度和穩定性。激光束的能量和位置可精確控制，實現微米級別的劃線精度。

2. 高穩定性：設備設計有獨立的激光位置控制系統和激光輸出自動測定、校準功能，確保長時間運行的穩定性和可靠性。

3. 高效率：節拍時間短，能夠快速完成劃線作業，提高生產效率。同時，設備支持連續在線工作，滿足大規模生產的需求。

4. 多功能性：不僅適用于TCO膜的劃線處理，還可擴展到其他透明導電膜層的處理領域，具有廣泛的應用范圍。

4 技術參數和特點：

•搭載6臺結合二管的IR激光器

激光由光纖傳輸，脈沖波幅可變

•簡單而高穩定性的光學系統

•花崗巖制XY平臺

高精度、低熱變動

•獨立激光位置控制

全部的IR激光器獨立搭載在Y、Z軸上

•激光輸出自動測定、校準功能

•節拍時間 < 90 sec