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詳細介紹
1. 產品概述
eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統，加熱基座設計，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續作業無累溫。
2. 設備用途/原理
eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統，加熱基座設計，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續作業無累溫，高溫鋁工藝具備高深寬比填充能力，背金工藝薄片傳輸及工藝，過程溫度實時監控，優異的溫度和應力控制能力，雙腔傳輸平臺，多可支持 10 個工藝模塊，靶材利用率高，大產能，低運營成本。
3. 設備特點
晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料 鈦、氮化鈦、鋁、 鎳、鎳釩、銀。適用工藝 鋁線、正面電工藝、背面金屬化工藝等。適用域 科研、化合物半導體、集成電路。
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