離子注入機

1. 產品概述

離子注入機是高壓小型加速器中的一種，應用數量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導體材料、大規模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。

2. 設備特點

單價離子大加速能量≥200keV，并增加減速系統實現單價離子在5keV~200keV的能量范圍

可用于2、3、4、6、8英寸晶圓以及不規則碎片

可注入B、P、As、Al、S、H、Mg、Si離子

注入劑量精準度≤1.5%

離子注入劑量范圍：1×1011 at/cm2～1×1016 at/cm2

離子源部分：離子源、離子源氣體系統和離子源引出系統

離子源系統搭載5套從固體蒸發源產生離子的Vaporizer，溫度達700℃，實現固態源的離子注入

離子注入傾斜角度在0°和7°

室溫臺：0°和7°；高溫臺：0°

束流調整系統主要包括：質量分析器、束流匯聚系統、加速系統、掃描系統、束流檢測和高壓絕緣變壓器

真空系統主要包括：Ion Source真空系統、Beam Line真空系統、End Station真空系統、真空系統中的真空管件和閥門以及真空檢測單元

真空度：

Ion Source真空度：≤7×10-4Pa

Beam Line真空度：≤7×10-5Pa

End Station真空度：≤7×10-5Pa