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            噴涂膠機

            簡要描述:在噴涂法中,噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經過優化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現在襯底上均勻的涂層。 噴涂所用的液體通常粘度極低,以確保形成細小的液滴

            • 產品型號:AS8
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-09-06
            • 訪  問  量: 771

            詳細介紹

            1.產品介紹:  

            AS8適用于崎嶇表面的手動噴霧涂膠機,AS8涂膠機可以滿足實驗室和試產環境下常用工藝的需要,對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結構加工,都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機也可用于生產環境。

            2.產品優勢:

            跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術

            頂部邊緣覆蓋的保形涂膠,且能避免溝槽中堆膠。

            噴霧設計,可實現工藝穩定性與重復性的優化

            基板尺寸最大直徑為200 mm,方形基板最大邊長為 6"

            最多可有2個獨立的噴霧噴膠系統,以避免交叉污染

            帶有MMC控制器軟件的觸摸屏

            全部工藝參數可在工藝菜單中編程

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