FZ-30和FZ-35區熔晶體生長系統專為工業生產直徑達200毫米(8英寸)的單晶硅晶體而設計。根據源棒的尺寸,可以拉出長度為2000毫米的晶體。在這個過程中,晶體的直徑和液態區的高度可以用攝像系統來監測。該系統采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產生高極限真空環境,有效地防止了工藝過程中的污染。
單腔立式甩干機適用于晶圓直徑至200mm;25片晶圓單盒工藝;標準的高邊和低邊花籃;可選內置電阻率檢測傳感器來控制晶圓的清洗工藝;用冷或熱的N2輔助晶圓干燥;離心頭容易更換。 去靜電裝置安裝于工藝腔室區:去離子水回收;去阻率檢測裝置;機械手自動加載;可放置臺面操作的設備、單立、雙腔;去離子水加熱系統;底座置放不銹鋼滾輪;溶劑滅火裝置;適用特殊設計的花籃。
FZ-14M(G)區熔晶體生長系統為制備單晶硅晶體樣品而設計開發,該系統用于工業多晶硅生產中的材料分析。生產過程中的小型多晶體樣品在氬氣環境中被感應熔化,并在籽晶上結晶,形成單晶,然后進行光譜分析,以檢測和記錄所生產的多晶硅質量。該系統采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產生高極限真空環境,有效地防止了工藝過程中的污染。
FZ-14 區熔晶體生長系統是專為工業生產直徑達100毫米(4英寸)的單晶硅晶體而設計。根據源棒的尺寸,可以拉出長度達1. 1米的晶體。在這個過程中,晶體的直徑和液體區的高度可以通過攝像系統來監測。并且該系統的上部主軸和線圈都是自動定位的。該系統采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產生高極限真空環境,有效地防止了工藝過程中的污染,同時還能將氮氣以受控的方式引入工藝爐體。
CGS-Lab單晶爐是PVA產品線中最小的直拉法晶體生長系統,專門為研究所和實驗室設計。10 英寸熱系統的設計用于最多 5 公斤的加料量和生長直徑為 100 毫米、長度為 300 毫米的硅錠。設備開爐狀態時高度為3.4米,對安裝場地的高度要求相當低。晶體提升速度和旋轉速度適用于生產特定尺寸的晶棒。