Laurell的WS-1000系列濕法勻膠工作臺的配置和測試模塊建造和運輸安裝時間短。易于裝載和操作,所有物品都讓操作員方便地觸及。
Laurell的EDC-650-15B型勻膠機結構緊湊,具有先進的功能。這款650系列EDC系統將可容納高達300mm的晶圓和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板。雖然這個系統有12,000RPM的能力帶真空壓緊裝置,建議僅用于3,000RPM和非真空吸盤。
Laurell的EDC-650-8B勻膠機結構緊湊,具有優良的功能。這款650系列EDC系統將可容納最大200mm晶圓和7英寸×7英寸(178mm×178mm)基板。雖然這個系統有12,000RPM的能力帶真空壓緊裝置,建議僅用于3,000RPM和非真空吸盤。
Laurell的EDC-650-23B型勻膠機結構緊湊,具有先進的功能。這款650系列EDC系統將可容納最大150mm晶圓和5英寸×5英寸(127mm×127mm)基板。雖然這個系統有12,000RPM的能力帶真空壓緊裝置,建議僅用于3,000RPM和非真空吸盤。
Laurell的WS-650-15B型勻膠機結構緊湊,具有先進的功能。這款650系列系統將可容納高達300mm的晶圓和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板,最大轉速為12,000RPM(基于100mm硅片)。
laurell的WS-650-8 B 型勻膠機結構緊湊,具有優良的功能。這款650系列涂布機系統 將 可容納最大200mm晶圓和 7英寸×7英寸 (178mm×178mm)基板,最大轉速為12,000 RPM(基于100mm硅片)。