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詳細介紹
1. 產品概述：
GNP CLEANER-412S型CMP后清洗機集成了兩個雙刷站，設計緊湊，占地面積小，可清洗(4“~12“)晶圓。
適用晶圓尺寸:100mm(4")和300mm(12")
配置:噴淋清洗、單邊刷清洗、旋轉漂洗干燥(可選:分離QDR)
清潔器尺寸:1,100W 1,100D 1,650Hmm
電刷尺寸:070(外徑)032(內徑)170(長)毫米
刷隙調節:PLC自動控制(可選刷隙范圍:-10mm ~ 2mm)
化學:NH4OH ~ 1%
可用刷型:雙面PVA刷
電刷轉速:最高400rpm
旋轉速度:手動加載與自動順序，濕入/干出，最大2,000rpmDIW沖洗/ N2吹
2. 工藝流程
手動加載，自動順序，濕/干液晶觸摸屏顯示器，程序控制PLC式
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