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詳細介紹
1. 產品概述：
GEN2000® MBE 系統提供的吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設備大批量生產以及需要以低擁有成本生產 6 英寸的新興應用的理想選擇。
提供業界低的單片晶圓成本
設計使占地面積比同類 MBE 系統小 40% 至 60%
模塊化架構允許多兩個生長模塊，從而提高產量或允許處理不相容的材料
易于維護，可大限度地延長正常運行時間
可選的隔板安裝優化了潔凈室空間
集成了業界具創新性、可靠的系統硬件、源和組件
GEN2000® MBE 系統提供吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設備大批量生產以及需要以低擁有成本生產 6 英寸的新興應用的理想選擇。
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