真空泵

1. VS系列是旋片式（單）的油旋轉真空泵。

VS系列是真空泵中的一款旋片式（單）油旋轉真空泵，以其可靠的性能和高效的排氣能力而廣受歡迎。這款泵的核心結構設計精巧，采用了先進的旋片技術，確保了在抽氣過程中提供穩定和持續的真空環境。為了滿足更高的排氣需求，VS系列泵可以靈活地與羅茨泵進行組合，這樣一來，不僅可以顯著提升排氣量，還能在短時間內達到所需的高真空狀態。這種高效的組合解決方案非常適合對快速抽氣和高真空要求的工業應用，如半導體制造、物理氣相沉積、化學氣相沉積等。

在設計方面，VS系列泵內置了高效的油霧過濾器和回油裝置。油霧過濾器能夠有效去除排氣過程中的油霧，防止油霧隨排氣排放到環境中，這一措施不僅有助于保護操作環境的清潔，也避免了潛在的設備污染。而回油裝置則通過對泵內部油液的回收，確保了油的循環使用，這不僅提升了泵的工作效率，還延長了其使用壽命。這些設計顯著提高了泵的排氣性能，確保其長期穩定運行，降低了維護頻率與運營成本。

值得一提的是，VS系列泵在維護便利性方面同樣表現出色。在設計過程中，工程師們充分考慮到用戶的操作體驗，使得油和濾芯的更換過程變得極為簡單和高效。用戶無需耗費大量時間和精力即可完成這些維護工作，這種人性化的設計極大地優化了設備的日常管理，減少了停機時間，使得整個系統的可用性得到了顯著提升。

2. 特點

水冷和強制給油。

在高負荷運轉下也能滿足缸體的供油，排氣性能比壓差給油更穩定。使用

壓油防吸系統，泵停轉時，可以防止油從油箱倒吸至吸氣端。

3. 維保便捷性

除使用了可時刻監測油狀態的大型油位計外，還設計了油箱清洗、更換排氣閥等時的便捷蓋。 

4. 用途

光學膜蒸鍍設備

反射器蒸鍍設備

裝飾用蒸鍍設備

薄膜卷繞蒸鍍設備

內嵌濺射設備

烘烤爐 /熱處理爐

凍干設備

檢漏設備