AE物理氣相沉積平臺

1 產品概述:

      物理氣相沉積（PVD）平臺是一種在真空環境中，通過物理方法將固體或液體材料源表面氣化成氣態原子、分子或離子，并沉積在基體表面形成具有特定功能的薄膜的設備。PVD平臺通常包括真空系統、加熱系統、氣體控制系統、沉積室、基體支撐及驅動系統等部分。AE物理氣相沉積平臺可能集成了這些關鍵技術組件，以提供高效、精確的薄膜沉積解決方案。

2 設備用途：

  AE物理氣相沉積平臺的主要用途包括：

1. 表面改性：通過沉積耐磨、耐腐蝕、導電、絕緣、潤滑等特性的薄膜，改善基體材料的表面性能。

2. 功能薄膜制備：制備具有光導、壓電、磁性、超導等功能的薄膜，應用于電子、光學、傳感器等領域。

3. 裝飾和保護：在高檔手表、珠寶、建筑材料等表面沉積金屬或合金薄膜，提供美觀和防腐蝕保護。

4. 微納加工：在微電子、半導體、納米技術等領域，制備高精度、高質量的薄膜結構。

3 設備特點

  高精度和均勻性：通過精確控制沉積參數，如溫度、壓力、氣體流量等，實現薄膜的高精度和均勻性沉積。

  多功能性：支持多種PVD技術，如真空蒸發鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜等，滿足不同應用需求。

  環保和節能：在真空環境中進行沉積，減少環境污染；采用高效能源利用技術，降低能耗。

  自動化和智能化：集成計算機控制系統，實現自動化操作和智能化監控，提高生產效率和產品質量。

Angstrom Engineering 的 Amod PVD 平臺是一款物理氣相沉積系統，以下是其一些技術特點和應用：
技術參數和特點：

不同型號的 Nexdep PVD 設備可能在具體技術指標上存在差異，如果你想了解更詳細的信息，可以參考相關產品手冊或直接聯系 Angstrom Engineering 公司。此外，天津大學大型儀器管理平臺和一些采購公告中也有 Nexdep PVD 設備的具體參數信息，例如：

1,腔室尺寸為 400mm（長）×400mm（寬）×500mm（高），帶有可拆卸的不銹鋼內襯；前門為移門，后門為鉸鏈式結構，采用 O 型圈密封；腔室門集成觀察窗并帶有防沉積裝置。

2,真空系統方面，前級泵采用油泵，抽速不低于 9cfm；主泵采用分子泵，抽速不低于 685L/s；配備 Inficon MPG400 真空規，測量范圍從3.75e-9torr 到大氣；在潔凈、干燥環境下，極限抽真空優于 5e-7torr。

3,蒸鍍系統配備 1 套熱阻金屬蒸發源和 1 個蒸發源電源控制器，熱阻蒸發源電源功率可達 2.5kW，采用可控硅電源控制器。

4,膜厚檢測系統配備 1 個膜厚檢測探頭，帶有水冷功能以提高檢測準確性，探頭安裝在剛性支架上防止碰撞影響精度。

5,樣品臺可裝載直徑為 150mm 的樣品，兼容小尺寸樣片，帶旋轉功能，轉速 10-30rpm 可調；系統配備自動控制模式的蒸發源擋板和開合式樣品臺擋板。