激光光刻機.

1. 產品概述

MPO 100是海德堡儀器推出的一款先進多用戶工具，專門為復雜微結構的3D光刻和3D顯微打印而設計。作為一款頂尖的設備，MPO 100采用了先進的雙光子聚合（TPP）技術，這一技術在微光學、光子學、微力學以及生物醫學工程等多個領域的應用中表現出色，推動了這些領域的技術進步和創新。

MPO 100所提供的多功能平臺，使其在精度和生產效率方面達到一定水平。它能夠在單一高效的工藝步驟中，快速而準確地生產出復雜的功能性微結構。這一特性尤其適用于需要精細設計和高可靠性的應用，如高性能光學元件、微流體器件以及生物傳感器等，滿足市場對高精度和高效能的需求。

MPO 100的靈活性使得它可以適應多種材料和設計需求，支持不同用戶的應用。此外，該設備的高吞吐量確保了生產效率，使得科研人員和工程師能夠在短時間內進行多次實驗和迭代，從而加速產品開發和技術驗證。

2. 主要特點

高精度和高吞吐量：以低至 100 nm 的小特征尺寸實現精度。受益于掃描速度超過 1000 mm/s 的高速 3D 打印以及體素調優。

多種材料兼容性：利用 522 nm 的強大飛激光系統高效處理各種聚合物。利用經過行業驗證的ORMOCER®雜化聚合物，具有的光學、機械和化學性能。

免拼接微光學元件：通過無限視場 （IFoV） 制造模式，無需拼接即可創建精確的微光學元件。

模塊化3D打印平臺：在 3D 光刻和 3D 顯微打印之間無縫切換，具有特定于應用的寫入模式和基板支架。制造高度超過 1 cm 的宏觀結構和表面粗糙度低至 10 nm 的微觀結構。

體素調優功能：在掃描過程中對體素尺寸進行微調，以減少所需的層數。

3. 應用

微光學：無需拼接即可創建高精度微光學元件，確保無縫集成。

光子學：將光子器件直接寫入基板上，從而優化器件性能和集成度。

細觀力學：生產具有高精度和可靠性的復雜微機械結構。

生物醫學工程：制造針對特定應用量身定制的復雜生物醫學設備和支架。

量子器件：開發高精度和定制化的先進量子器件，用于沿研究和應用。