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詳細介紹
1. 產品概述
WE3102系列 12英寸槽式清洗設備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。
2. 設備用途/原理
WE3102系列 12英寸槽式清洗設備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。軟件量身定制，具備快速更新能力，較高的溫度控制穩定性，超高的補水精度，精準的蝕刻速率控制，優秀的干燥效果。
3. 設備特點
晶圓尺寸 12 英寸，適用材料 光阻、單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金屬膜、金屬氧化物。適用工藝 爐清洗、刻蝕 / 拋光后清洗、光阻去除、金屬氧化物去除、氮化物去除、控擋片回收。適用域 新興應用、集成電路。
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