碳化硅高溫退火爐

1、公司介紹

深圳市矢量科學儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學團隊孵化，致力泛半導體實驗線、中試線、生產線裝備及工藝和廠務技術服務于一體的國家高新技術企業、創新型中小企業、科技型中小企業。

公司主要業務如下:

裝備銷售:半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試裝備、半導體光電測試儀表。

設備服務:駐場或者 oncall，裝備維護、保養、售后技術支持。

廠務服務:駐場或者 oncall，人力服務及廠務二次配工程。

經歷五年高速發展，2023 年營業額達 3.2 億，連年復合增長率達 300%，現處于穩定擴張期。

2、成長歷程

•2020年（公司成立年）

•2300萬訂單額

2021年 7000萬訂單額

2022年 2.5億訂單額

2023年3.2億訂單額

VERIC A6151A 碳化硅高溫退火爐

1、適用于碳化硅高溫激活 & 退火的設備

SiC high temperature activation & annealing equipment

2、最高溫度 2000℃，升溫速率可達 100℃/min

Max.temp 2000℃, Max.ramp rate100℃/min

3、石墨電阻加熱，工藝腔室潔凈

Graphite resistance heating, high cleanliness chamber

4、自動裝片，Cassette to Cassette

Automatic loading, cassette to cassette

5、SEMI S2/S6 認證

SEMI S2/S6 certification

技術參數

1、晶圓尺寸 4/6 英寸兼容

2、適用材料 碳化硅、氮化鋁

3、適用工藝 注入后激活、Ar 退火、Ar/H2 退火、溝槽平滑

4、適用領域 科研、化合物半導體