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詳細介紹
1. 產品概述
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統,適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。
2. 設備用途/原理
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統,適用于 260-1200℃快速熱處理工藝,高精度溫度控制,提供優異工藝,低成本,高產能。
3. 設備特點
晶圓尺寸 12 英寸,適用工藝 快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化。適用域 科研、集成電路。此外,12英寸單片快速熱退火系統的應用還涉及到泛半導體實驗線、中試線、生產線裝備及工藝和廠務技術服務等領域,展示了其在半導體制造中的重要角色。這種系統的發展和應用,對于推動半導體技術的進步和促進相關產業的發展具有重要意義。?
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