多片碳化硅外延系統

1. 產品概述

MARS iCE120 多片碳化硅外延系統，產能大，6 英寸運營成本低。

2. 設備用途/原理

MARS iCE120 多片碳化硅外延系統，產能大，6 英寸運營成本低。薄膜和厚膜外延兼容，工藝穩定性高。具備多層外延能力。氣流場和加熱場設計，工藝性能優異。可靠的壓力控制系統，成膜質量均一性好。兼容 8 英寸。

3. 設備特點

晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料 碳化硅 SiC，適用工藝 N&P 碳化硅外延，適用域 科研、化合物半導體。碳化硅外延晶片?主要用于以下幾個方面：?射頻器件?：用于?5G基站、?城際高速鐵路、?新能源汽車充電樁等。??電力電子器件?：用于電動汽車，提高續航能力。?功率電子器件?：如?功率MOSFET、?Schottky二極管等。??光電子器件?：用于?光通信、?激光二極管和?光傳感器等。碳化硅外延晶片在具體領域的應用，?5G基站建設?：碳化硅晶片作為5G芯片的理想襯底，可以減小設備體積，降低能量損耗，增加設備在惡劣環境下的可靠性。?新能源汽車?：用于電動汽車的電力電子器件，提高續航能力約10%。