6/8英寸全自動槽式清洗機

1. 產品概述：

GAMA系列6/8英寸全自動槽式清洗機滿足全部濕法工藝需求，覆蓋RCA、PR Strip、Solvent、Wet Etch等應用，可用于典型0.35um、0.18um工藝節點，可支持90nm工藝節點，可兼容6寸和8寸晶圓。

2. 設備應用：

  晶圓尺寸

  6、8 英寸

  適用材料

  硅，碳化硅，硅基氮化鎵

  適用工藝

  預清洗、去膠清洗、氮化硅去除、金屬去除(Co,Ti)、Recycle 清洗、拋光后清洗、Epi 前清洗、 Epi 后清洗

  適用領域

  集成電路、襯底材料、化合物半導體、功率半導體

3. 特色優點：

北方華創 GAMA Series 清洗機在腐蝕均勻性方面表現明顯。腐蝕均勻性對于保證芯片制造的一致性和穩定性具有關鍵意義。
這款清洗機通過精心設計的流體流動系統、化學溶液分布機制以及溫度控制策略，確保在整個晶片表面實現高度均勻的腐蝕效果。無論是在大面積的晶片還是復雜的圖形結構區域，都能保持腐蝕程度的一致性。
可能采用了多噴頭均勻噴淋、旋轉式清洗等技術，使化學溶液能夠均勻地覆蓋晶片表面，避免出現局部腐蝕過度或不足的情況。同時，精準的溫度控制系統能夠確保整個清洗過程中溫度的均勻性，因為溫度的差異可能會影響腐蝕反應的速率和均勻性。在實際應用中，即使面對不同材質和厚度的晶片，該清洗機也能提供出色的腐蝕均勻性，從而有效提高芯片的質量和性能。

  4.設備特點

  結構設計緊湊，占地面積小

  模塊化設計，配置靈活、可擴展

  成熟的工藝槽設計，確保工藝穩定性

  精確的化學稱量系統，實現高質量工藝