金屬有機化學氣相沉積MOCVD

1.產品概述：

Veeco 提供了一系列行業的 GaN 和 As/P 金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) 系統，提高吞吐量，同時降低包括顯示器、3D 傳感、LiDAR、微型 LED 顯示器和光學數據通信在內的各種應用的擁有成本。

2.產品優勢：

最大的資本效率和占地面積節省，提供優秀的性能

出色的均勻性與低缺陷率

緊湊型集群架構

高吞吐量體系結構，實現最大生產

3.產品工藝：

Veeco 的 EPIK® 868 是 LED 業界最高性能的金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) 系統，可實現出色的均勻性和可重復性，以及低缺陷率。EPIK 868 擁有四反應腔配置并采用突破性技術，包括專有的 IsoFlange™ 和 TruHeat™ 技術，其可在整個晶片載體上提供層流和均勻的溫度曲線。這些技術創新推動了迷你和微型 LED 所需的更高產量。EPIK 固有的 868 TurboDisc® 技術可實現最高的系統可用性和正常運行時間。EPIK 868 高容量承載盤專為大批量生產設計，擁有成本容納多個 4"或 6" 晶片尺寸?？蛻艨梢院茌p松地從現有的 TurboDisc 系統切換到新的 EPIK 868 金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) 平臺，從而快速啟動高品質迷你和微型 LED 的生產。