條形等離子清潔系統

1.產品特點

80 Plus 條形等離子清潔系統為半導體加工而開發，可支持手動及自動操作，兩種操作方式均簡單易用。該系統可以配備或不配備裝卸站；此外，每個裝卸站都可支持不同的配置。即便沒有裝卸站，也可將其集成到生產線中。

2.產品配置

該軟件直觀，滿足當半導體行業的標準，其主要應用域是表面的活化和清潔。80 Plus系統操作十分高效，加上其等離子技術，使用它進行等離子處理只需幾即可完成。

通過使用該系統進行等離子處理，可以快速有效地清除晶圓表面的雜質和污染物。這有助于提高晶圓的質量和性能，并確保生產過程中的穩定性和一致性。

另外，80 Plus系統還具有智能控制功能，可根據實際需要進行參數調整。這使得用戶可以根據不同的加工要求來優化處理過程，并獲得佳的加工效果。

除了晶圓表面清潔功能外，80 Plus系統還可以用于其他應用域。例如，在光伏行業中，它可以用于太陽能電池片的制造過程中，提高電池片的效率和穩定性。

PVA TePla 提供研發和合同代加工的廣泛應用服務。 許多客戶利用這些服務進行臨床試驗和中小型生產。

80 Plus 等離子系統提供兩種電配置

離子配置：射頻為 13.56 MHz 的電磁輻射通過電被送入腔室，以便通過加速離子實現表面轟擊。除了這種物理效應，還有一種化學效應，但它比使用微波頻率時獲得的效果要小。

千兆配置：如果等離子設備配備微波發生器，則使用 2.45 GHz 的頻率。腔室中沒有電；微波在真空室外部產生，然后通過天線或波導輸入。具有這種配置的等離子體以純化學方式工作。