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            LSA 201 環境控制激光尖峰退火設備
            
            
            簡要描述：Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系統具有與 LSA101 相同的架構，可在掃描激光系統中實現全晶圓環境控制。該微室在于它不需要使用真空負載鎖。該系統能夠運行任何惰性氣體的混合物，包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵極結活化和鎳硅化物形成等應用。
            
            
              
    
            • 產品型號：
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            • 廠商性質：經銷商
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            • 更新時間：2024-09-06
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            • 訪  問  量： 406
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            詳細介紹
            
            
            
            	
            1.產品概述：
            Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系統具有與 LSA101 相同的架構，但包括獲得利的微室設計，可在掃描激光系統中實現全晶圓環境控制。該微室在于它不需要使用真空負載鎖。該系統能夠運行任何惰性氣體的混合物，包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵結活化和鎳硅化物形成等應用。LSA201 非常適合 20nm 以下的工藝，例如環境控制至關重要的界面工程和材料改性。
            2.產品特點
            長波長、布魯斯特角、p 偏振光，可實現佳的芯片內均勻性
            閉環溫度反饋控制，保持嚴格的溫度控制
            布局獨立設計，非常適合處理平面和 FinFET 器件
            具有靈活停留時間的局部應力場可實現低應力處理并減少晶圓破損。
            
            
            
            
            
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