IoN系列等離子清洗去膠系統

IoN系列等離子系統具有多種射頻電源選項，可滿足客戶的特定工藝和產量要求。 我們提供不同腔體和電配置，大腔體可達 1200 升。

PVA TePla 的 IoN 10Q 是一款桌式全功能射頻等離子機，可用于批量晶圓去膠和清除殘膠，為實驗室和量產使用而設計，多可處理 25片晶圓，晶圓大尺寸為 150 毫米。

PVA TePla的IoN 100-40Q是一款功能齊全的射頻等離子機，可用于批量晶圓去膠和清除殘膠，為實驗室和量產使用而設計，多可處理50片晶圓，晶圓大尺寸為200毫米。

PVA TePla 的 IoN 單片晶圓去膠機是一款功能齊全的先進射頻等離子機，可用于單片晶圓去膠和清除殘膠，為實驗室和量產使用而設計，可處理大的晶圓為200毫米。

PVA TePla 的 IoN 200 是一款功能齊全的射頻等離子機 ，可用于表面改性，設計用于實驗室和處理大型基板或大批量生產。 該機臺還為等離子增強化學氣相沉積應用提供了對應的功能。

PVA TePla 的 IoN 40 是一款功能齊全的桌式先進射頻等離子機，可用于表面改性，為實驗室和量產使用而設計，適用于處理較小的基板或中小產量。該機臺還為等離子增強化學氣相沉積應用提供了對應的功能。