12寸 集束型涂膠顯影機

1. 產品概述

KS-C300涂膠顯影機是一款高效能的設備，廣泛應用于封裝、MEMS（微電機械系統）、OLED（有機發光二極管）等領域的涂覆和顯影制程。該設備的設計理念強調高產能與靈活性，每小時可以加工高達180片晶圓，極大地提高了生產效率。這一特性對于滿足快速變動的市場需求，尤其是在高科技產業中無疑具有重要意義。

KS-C300不僅具備處理能力，還有出色的兼容性，能夠適應不同材質的晶圓，包括硅晶片、玻璃片、鍵合片以及各種化合物材料。這樣的多樣化選擇使得設備能夠被廣泛應用于多種芯片制造領域，包括邏輯類和存儲類芯片、攝像頭芯片以及功率器件芯片等。

此外，KS-C300的國產化集成電路設備的成功應用，為客戶提供了一個顯著的成本優勢。通過國產設備的引入，客戶不僅能夠節省大量的采購及維護成本，還能加快設備的調試與服務響應，縮短產品上市時間。這一系列優點使得KS-C300在行業內受到廣泛認可與青睞。

該設備還通過了嚴格的SEMI S2認證，進一步證明了其在安全性、可靠性及高性能等方面的表現。SEMI S2認證是半導體設備行業的重要標準，確保設備在生產過程中符合國際安全及環境保護要求，為客戶提供了額外的信心?？傮w來看，KS-C300涂膠顯影機憑借其高效的生產能力、多樣化的兼容性以及可靠的安全標準，成為先進半導體制造工藝中的設備之一。

2. 產品優勢：

適合超薄晶圓處理，超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝
涂膠單元特殊設計，避免高黏度膠離心涂敷時產生的“棉花糖"現象
機臺為全封閉模塊化結構，工藝單元靈活選配
占地面積小，產能高

工藝上可實現5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工，熱板采用漸進式烘焙
可滿足工廠自動化需求，無人值守

3. 應用域：

封裝
MEMS
OLED