高真空有機及熱阻蒸發薄膜沉積系統

簡要描述：產品概述：
高真空有機及熱阻蒸發薄膜沉積系統主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統；真空測量系統；蒸發源；樣品加熱控溫；電控系統；配氣系統等部分組成。
設備用途：
熱蒸發是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內，通過對鍍膜材料加熱使其蒸發氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程?？稍诟哒婵障抡舭l高質量的不同厚度的金屬薄膜，廣泛應用于物理，生物，化學，材料，電子等領域。

產品型號：DZ350
廠商性質：經銷商
更新時間：2024-09-05
訪問量： 321

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詳細介紹

1.產品概述：

該設備主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統；真空測量系統；蒸發源；樣品加熱控溫；電控系統；配氣系統等部分組成。

2.產品應用：

在實際應用中，這種系統常用于半導體、光電子、有機電子等域，用于制備各種有機薄膜、金屬薄膜或復合薄膜，以滿足不同器件和材料的研究與開發需求。

3.真空室:

沈陽科學儀器的高真空有機及熱阻蒸發薄膜沉積系統 DZ350的詳細介紹可能因具體型號和配置而有所不同

真空室結構:U形開門

真空室尺寸:φ350×400mm

限真空度:≤6.6E-5Pa

沉積源:2個鎢舟、2個有機源

樣品尺寸，溫度:50mmx50mm，1片，高300℃

占地面積（長x寬x高）:約2.5米×1.2米×1.8米

電控描述:采用先進的控制系統，方便用戶設置和調整工藝參數，如蒸發溫度、沉積時間等。

手動：樣品臺：擁有可旋轉或可移動的樣品臺，以便均勻沉積薄膜。

工藝:不含工藝

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