雙光子聚合直寫光刻機

1.產品概述：

MPO 100，這是海德堡儀器先進的多用戶工具，為復雜微結構的 3D 光刻和 3D 顯微打印而設計。MPO 100 利用先進的雙光子聚合（TPP），在微光學、光子學、微力學和生物醫學工程域的應用中表現出色。這種多功能平臺提供的精度和吞吐量，能夠在一個高效的工藝步驟中生產出復雜的功能性微結構。

2.設備用途：

微光學：無需拼接即可創建高精度微光學元件，確保無縫集成。

光子學：將光子器件直接寫入基板上，從而優化器件性能和集成度。

細 觀 力學：生產具有高精度和可靠性的復雜微機械結構。

生物醫學工程：制造針對特定應用量身定制的復雜生物醫學設備和支架。

量子器件：開發高精度和定制化的先進量子器件，用于沿研究和應用。

3.特色參數：

高精度和高吞吐量：以低至 100 nm 的小特征尺寸實現高的精度。受益于掃描速度超過 1000 mm/s 的高速 3D 打印以及體素調優。

多種材料兼容性：利用 522 nm 的強大飛激光系統高效處理各種聚合物。利用經過行業驗證的ORMOCER®雜化聚合物，具有好的光學、機械和化學性能。

免拼接微光學元件：通過無限視場 （IFoV） 制造模式，無需拼接即可創建精確的微光學元件。

模塊化3D打印平臺：在 3D 光刻和 3D 顯微打印之間無縫切換，具有特定于應用的寫入模式和基板支架。制造高度超過 1 cm 的宏觀結構和表面粗糙度低至 10 nm 的微觀結構。

體素調優功能：在掃描過程中對體素尺寸進行微調，以減少所需的層數。