紫外線臭氧清洗機

概要

UV-1是一款緊湊型臺式紫外線臭氧清洗機。該系統將紫外線照射、臭氧和平臺加熱結合在一起，溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導體（GaN、GaAs、InP、SiC）、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。

主要特點和優點

· 最大加工尺寸為?100 mm（4英寸）。

· 加熱階段加快了清洗速度，實現了寬廣的工藝溫度范圍。

· 緊湊，使用最小的臺式空間

· 簡單，在大氣壓下操作--不需要真空系統。

· 柔軟、干燥的工藝不會對基材造成電損傷。

· 蓋子聯鎖保證了當蓋子打開時，系統無法運行。

· 臭氧催化劑裝置，用于將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

· 安全性能自動N?凈化循環、加熱級保險絲保護、臭氧洗滌器和緊急停止開關。

應用

· 塑料包裝和引線框架的表面清潔。

· 復合半導體(GaN、GaAs、InP和SiC)的表面清洗。

· 表面改性（潤濕性和附著力的改善

· 表面氧化(薄氧化層沉積)

· 光阻劑的灰化、剝離和除塵。

· 清除有機污染物

· 紫外線固化