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            感應式碳化硅長晶爐

            簡要描述:APS系列 感應式碳化硅長晶爐,適用于 6 英寸、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

            • 產品型號:APS系列
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-09-05
            • 訪  問  量: 355

            詳細介紹

            1. 產品概述

            APS系列 感應式碳化硅長晶爐,適用于 6 英寸、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

            2. 設備用途/原理

            APS系列 感應式碳化硅長晶爐,適用于 6 英寸、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。創新的結構設計,提供高純材料生長能力。智能的運行 / 監控系統,適于長時間 / 高溫 / 低壓工藝,拓寬高質量 / 大規模晶體生長窗口。包含多款輔助設備:大產能原料合成爐、晶錠退火爐、氮化鋁長晶爐及 其他定制化設備。

            3. 設備特點

            晶體尺寸 6、8 英寸,加熱方式 感應加熱,適用材料 碳化硅、氮化鋁,適用工藝 物理氣相輸運法(PVT 法),適用域 科研、化合物半導體


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