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詳細介紹
1. 產品概述
SES系列 8英寸多片硅外延系統為單腔多片式硅外延設備，適用于4、5、6、8英寸的硅外延工藝。SES系列反應腔室采用多片平板式的結構，配合感應加熱的方式實現高質量的外延薄膜生長，適用于厚度5-150µm范圍的外延工藝，精確可調N型、P型摻雜。該設備智能化人機交互設計與高效的安全互鎖保障了系統安全和穩定。
2. 設備用途/原理
SES系列 8英寸多片硅外延系統，適用于 5-150 微米范圍的硅外延工藝，優良的感應加熱和氣流場技術提供了優良穩定的工藝性能，多片平板式設計，高容載量，自動化程度高、產能高、低運營成本。
3. 設備特點
晶圓尺寸 4、5、6、8 英寸，適用材料 硅，適用工藝 N&P 硅外延，適用域 科研、集成電路。
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