<noframes id="91h9j"><form id="91h9j"><th id="91h9j"></th></form>

      <noframes id="91h9j"><address id="91h9j"><nobr id="91h9j"></nobr></address>
      <address id="91h9j"><listing id="91h9j"><meter id="91h9j"></meter></listing></address>
        <address id="91h9j"></address>
        <address id="91h9j"><address id="91h9j"><nobr id="91h9j"></nobr></address></address><form id="91h9j"></form>

            <address id="91h9j"><nobr id="91h9j"><progress id="91h9j"></progress></nobr></address>
            歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網站!
            咨詢熱線

            當前位置:首頁  >  產品中心  >  半導體前道工藝設備  >  1 光刻設備  >  CPC15/35/80/120/150CIF 生產型等離子清洗機

            CIF 生產型等離子清洗機

            簡要描述:CIF 生產型等離子清洗機是為研發型客戶和工業級客戶而設計的等離子體表面處理設備,配置豐富,且真空腔體里可分層,適合大多數生產場景。適用于等離子清洗,活化以及刻蝕等多種應用,設備可在嚴苛環境下穩定運行,產品性能穩定,樣品處理重復性、一致性好。

            • 產品型號:CPC15/35/80/120/150
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-09-10
            • 訪  問  量: 1038

            詳細介紹

            一、CIF 生產型等離子清洗機 產品介紹

            CIF推出的CPC系列生產型等離子清洗機是為研發型客戶和工業級客戶而設計的等離子體表面處理設備,配置豐富,且真空腔體里可分層,適合大多數生產場景。適用于等離子清洗,活化以及刻蝕等多種應用,設備可在嚴苛環境下穩定運行,產品性能穩定,樣品處理重復性、一致性好。

            二、CIF 生產型等離子清洗機 產品特點

            1. 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動監測工藝參數狀態,0~99個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數據,機器運行、停止提示。

            2. PLC工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

            3. 采用質量流量計,氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統,可選多氣路氣體輸送系統,氣體分配均勻??奢斎胙鯕狻鍤?、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

            4. 采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

            5. HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

            6. 316不銹鋼真空倉,潔凈無污染。

            7. 全真空管路系統采用316不銹鋼材質。

            8. 處理高效均勻,效率高,工藝重復性好。

            9. 合理的結構設計,設備占用空間小。

            10. 可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。

            11. 樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。

            12. 使用成本低、耗損小。

            13. 產品性能穩定,安裝與維護,簡便方便。

            14. 安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

            三、技術參數

            型號

            CPC15

            CPC35

            CPC80

            CPC120

            CPC150

            艙體尺寸

            W240xH240xD260mm

            W320xH320xD350mm

            W420xH400xD500mm

            W500xH500xD450mm

            W500xH500xD600mm

            艙體容積

            15L

            35L

            80L

            120L

            150L

            有效尺寸

            W210xD245mm

            W300xD335mm

            W400xD490mm

            W500xxD440mm

            W500xxD590mm

            電極分布

            2層

            3-4層

            6層

            8-10層

            10-15層

            射頻電源

            13.56MHz, 0-300W

            13.56MHz, 0-300W

            13.56MHz,0-600W

            13.56MHz,0-1000W

            13.56MHz,0-1000W

            匹配器

            自動匹配器

            激發方式

            電容式

            電 流

            1.2A

            時間設定

            1-99分59秒

            氣體穩定時間

            1分鐘

            真空度

            100pa以內

            控制系統

            7寸PLC觸摸屏控制

            工藝氣體

            2氣路 MFC(可選裝3路)

            真空泵

            抽速約8m3/h

            抽速16m3/h

            抽速40m3/h

            抽速60m3/h

            抽速約60m3/h

            電 源

            AC220V 50-60Hz

            AC220V 50-60Hz

            AC380V 50-60Hz

            AC380V 50-60Hz

            AC380V 50-60Hz

            備注:根據用戶要求,可選中頻電源40KHz,功率300-2000W。







             

            產品咨詢

            留言框

            • 產品:

            • 您的單位:

            • 您的姓名:

            • 聯系電話:

            • 常用郵箱:

            • 省份:

            • 詳細地址:

            • 補充說明:

            • 驗證碼:

              請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
            日本乱码一卡二卡三卡永久