微型輪廓儀（光學檢測）

1. 樣品臺規格：

樣品臺尺寸：Φ160mm

大工件尺寸：Φ200mm

大工件厚度：52mm

大工件重量：2kg

縱向調整范圍：2.5" (±5mm/160mm)

樣品臺材質：黑色硬質鉛

手動旋轉：360°（手動粗調）、±5°（微調，小約0.5°）

2. 傳感器參數：

原理：光柵式傳感器

Z方向測定范圍：Max. 600μm

Z方向小分辨率（隨放大倍率變化）：

x5,000倍時：10nm ±300μm

x10,000倍時：5nm ±160μm

x20,000倍時：2.5nm ±80μm

x50,000倍時：1nm ±32μm

x100,000倍時：0.5nm ±16μm

x200,000倍時：0.25nm ±8μm

x500,000倍時：0.1nm ±3.2μm

x1,000,000倍時：0.05nm ±1.6μm

x2,000,000倍時：0.025nm ±0.8μm

測定力：10μN～500μN

觸針半徑：2μm 60° 鉆石針頭（另有多種可選）

驅動方式：直流伺服

重復性：te = 0.2nm (1μm以下臺階時)

3. X軸（基準軸/測量軸）參數：

移動量（大行程）：100mm (±50mm)

直線度：0.2μm/100mm (全量程)，5nm/5mm (局部)

移動速度：0.005～20mm/s

線性度（linear scale）：X方向分辨率 0.1μm

位置重復誤差：±5nm

以下是詳細列出的機械臂參數和功能：

4. Z軸參數：

移動量：54mm

移動速度：大2.0mm/S

檢出器自動停止機能

5. Y軸參數（手動定位用）：

移動量：25mm（±12.5mm）

6. 工作觀察參數：

彩色1/3"CCD，配備x4物鏡倍率

綜合倍率：約320倍（使用19"顯示器時）

視野范圍：1.2mm x 0.9mm

觀察方向：右側斜視

照明系統：白色LED，支持軟件調整明暗度

7. 軟件功能簡介：

型號：i-STAR31

可設定測量條件菜單、重復測量設定及解析菜單

支持設定下針坐標，實現定位后自動測量及解析功能

配備低通濾波功能，有效過濾噪音及雜訊

具有返回測量起始點功能

顯示倍率范圍：垂直方向502,000,000倍，縱方向110,000倍

強大的解析功能，包括主要圖形、段差解析、粗糙度解析、內應力分析及多種段差解析選項

8. 其他參數：

床臺材質：一體花崗巖

防振臺（選購）：提供落地型或桌上型選項

電源規格：AC220V±10%，50/60HZ，300VA本體外觀尺寸及重量：W500×D440×H610mm，重120kg，采用一體花崗巖低重心結構設計（不含防振臺）